摘要：为研究超精密加工设备隔振基础的隔振效果,以某超精密加工设备为研究对象,设计了隔振系统,分析了系统在环境微振动下的振动响应,发现在x方向能得到很好的隔振效果。另外,通过调整隔振基础厚度和隔振弹簧刚度,分析了加工设备对外界环境微振动的响应变化情况。
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期刊名称：机械制造与自动化
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