摘要：为了降低工艺要求和制作成本,提出了压电基片上纸基微流器件制作方法。采用焊锡丝构建微通道图案,通过聚二甲基硅氧烷(PDMS)固化、剥离焊锡丝、填入棉线、棉线吸收未固化PDMS等工艺过程,将图案转印于纸基片,并贴合于128°YX-LiNbO3压电基片上。实验结果表明,电信号功率为27.3dBm时,在研制器件上实现淀粉显色反应,验证其微流分析功能。
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期刊名称：压电与声光
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