摘要：针对于原半导体生产线在生产过程中晶圆传递机械臂定位不够精确的问题,通过对机械臂进行力学分析,研究其运动轨迹,并对晶圆机械臂的运动轨迹进行了数学建模分析。并根据晶圆机械臂运动轨迹分析结果,引入插补算法减小累积误差,并利用B&R 2003 PLC进行程序设计实现系统精准定位,通过实验实际数据表明,误差范围较小,可实现精准定位功能。
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期刊名称：自动化与仪器仪表
自动化与仪器仪表杂志紧跟学术前沿，紧贴读者，国内刊号为：50-1066/TP。坚持指导性与实用性相结合的原则，创办于1981年，杂志在全国同类期刊中发行数量名列前茅。
