摘要：目的建立无托槽隐形矫治微型测力实验平台，以测量矫治过程中牙齿的应力。方法开发基于硅衬底的应力传感器芯片，随后进行芯片减薄，并采用四点弯曲结构进行压阻系数标定，使用超薄的柔性电路板封装传感器芯片，引出信号，搭建完整的隐形矫治应力测量实验平台。结果制造完成的应力传感器芯片长7．0him、宽6．0mm、厚0．1mm，其上包括13个注入制造的单晶硅压阻应力敏感单元和4个标定单元；设计制造了基于多路选择电路的主测试电路板，搭建了完整的隐形矫治应力测量实验平台，通过压阻阻值的测量计算出13个测量单元位置所在的应力。结论建立了无托槽隐形矫治微型测力系统的实验平台，为精确测量矫治过程中牙齿的局部应力提供了方法。
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